别人对的方法，你也别用！
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第四关，退火工艺。
led从本质上说是一个二极管，二极管的核心结构是⚛半导体-n结。-n结🛀🙎是由n型半导体(内部含有大量自由电子)和型半导体(内部含有大量带正电的自由🂆🌦🁒载流子——空穴)组成的界面。
对gan而言，n型掺杂比较容易实现，但型掺杂却🀥⚝💛十分困难。在gan中经常使用的型掺杂剂是zn或者n往往仍体现高阻♈🆚🐄特性，这意味着型掺杂剂并没有被激活，没有起作用。
这个问题曾困惑了科学界很久，最后也是被天野浩☶解决的。解决方法是用低能电子束辐照方法来获得-ga🜫🅊n。
这个方法的发🅗🆬💩现，天野浩也是耗时很久。他从86年起就一直在尝试，直到89年，才突然碰🗨🞇💄运气得到。
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在这个步骤上，中🅨🉇🅋村大侠的“二”病再此🙌发作！
他再次推翻了前🗗面科学📛🛦🞨家的研究成果，改为加热！
这也就是所谓退火工艺的由来。
根据中村自己🅗🆬💩的解释，他是在非常偶然情况下，🂮得到了这个意外结果。
在重复电子束照射实验前，他不小心把工作台给加热了！于是，他就发现，在电子束⛗🚡🔹辐照过程中，在样品下面加热可以获得更好的结果。
对此现象，他又继续研究，进而确认，仅仅依靠加热就可以🟉获得-gan。而退火工艺的原理，中村大侠并没有给🜊出合理的解释。
从此，热退火就成为了制作蓝光led☗的标准工艺，沿用至今。
当然了，事情是否真偶然，谁也不知道。
讲故事谁不会？
退火工艺的🎗背后原🅨🉇🅋理，在很久以后才被人揭示。
-gan中的ocvd外延过程中引入的h钝化，形成-h络合物。无论是低能电子辐照还是🗨🞇💄热退火，都是通过借助外部能量破坏-h键而激活杂💼质。
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这两🂊🍇🆁个工艺步骤的实现，足以说明中村的逆天运气！
前人耗时五六年的成果，他在很短的时间内🛴☼，全部推翻，而且找到了更好的方式！
而他发现的这些工艺步骤，☄☣即♣使在三十年后，也无☶人能改！
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第四关，退火工艺。
led从本质上说是一个二极管，二极管的核心结构是⚛半导体-n结。-n结🛀🙎是由n型半导体(内部含有大量自由电子)和型半导体(内部含有大量带正电的自由🂆🌦🁒载流子——空穴)组成的界面。
对gan而言，n型掺杂比较容易实现，但型掺杂却🀥⚝💛十分困难。在gan中经常使用的型掺杂剂是zn或者n往往仍体现高阻♈🆚🐄特性，这意味着型掺杂剂并没有被激活，没有起作用。
这个问题曾困惑了科学界很久，最后也是被天野浩☶解决的。解决方法是用低能电子束辐照方法来获得-ga🜫🅊n。
这个方法的发🅗🆬💩现，天野浩也是耗时很久。他从86年起就一直在尝试，直到89年，才突然碰🗨🞇💄运气得到。
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在这个步骤上，中🅨🉇🅋村大侠的“二”病再此🙌发作！
他再次推翻了前🗗面科学📛🛦🞨家的研究成果，改为加热！
这也就是所谓退火工艺的由来。
根据中村自己🅗🆬💩的解释，他是在非常偶然情况下，🂮得到了这个意外结果。
在重复电子束照射实验前，他不小心把工作台给加热了！于是，他就发现，在电子束⛗🚡🔹辐照过程中，在样品下面加热可以获得更好的结果。
对此现象，他又继续研究，进而确认，仅仅依靠加热就可以🟉获得-gan。而退火工艺的原理，中村大侠并没有给🜊出合理的解释。
从此，热退火就成为了制作蓝光led☗的标准工艺，沿用至今。
当然了，事情是否真偶然，谁也不知道。
讲故事谁不会？
退火工艺的🎗背后原🅨🉇🅋理，在很久以后才被人揭示。
-gan中的ocvd外延过程中引入的h钝化，形成-h络合物。无论是低能电子辐照还是🗨🞇💄热退火，都是通过借助外部能量破坏-h键而激活杂💼质。
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这两🂊🍇🆁个工艺步骤的实现，足以说明中村的逆天运气！
前人耗时五六年的成果，他在很短的时间内🛴☼，全部推翻，而且找到了更好的方式！
而他发现的这些工艺步骤，☄☣即♣使在三十年后，也无☶人能改！