想提取高浓度的三氯硅烷，则是需要降低温度。
因为三氯硅烷的气体沸点是32度，而三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅三种气体的沸点分别是315度、180度、57度，气体温度降低就可以轻松分离出还在沸点的高纯度三氯硅烷气体。
高浓度的三氯硅烷气体分离完成以后，会全部来到多晶硅生长炉进行二次加热。
“韩工，炉内气体到达峰值，是否进行加热？”
蓝色品质人才询问。
站在他们身后，同样紧盯仪器各项数值的韩铭点了点头，提高音量道：“拉升温度500。”
“拉升温度500！”
蓝色品质人才重复一句。
工业作业时，重复念出相应数值可以让工程师判断，操作员有没有听错数值或输错数值，减少低级失误的发生。
“炉内温度300！”
“400！”
“500了！”
“加入氢气还原！”
“氢气已注入！”
“炉内温度拉升，数值1100度！”
“炉内温度拉升，数值1100度！”
“正在拉升！”
“800！”
“900！”
“1000！”
“炉内温度已到达目标温度！”
在炉内温度到达1100度时，韩铭看着设备各项数值均正常，不由得暗自松了口气。
设备没有问题。
因为三氯硅烷的气体沸点是32度，而三氯化铁、三氯化铝、四氯化硅三种气体的沸点分别是315度、180度、57度，气体温度降低就可以轻松分离出还在沸点的高纯度三氯硅烷气体。
高浓度的三氯硅烷气体分离完成以后，会全部来到多晶硅生长炉进行二次加热。
“韩工，炉内气体到达峰值，是否进行加热？”
蓝色品质人才询问。
站在他们身后，同样紧盯仪器各项数值的韩铭点了点头，提高音量道：“拉升温度500。”
“拉升温度500！”
蓝色品质人才重复一句。
工业作业时，重复念出相应数值可以让工程师判断，操作员有没有听错数值或输错数值，减少低级失误的发生。
“炉内温度300！”
“400！”
“500了！”
“加入氢气还原！”
“氢气已注入！”
“炉内温度拉升，数值1100度！”
“炉内温度拉升，数值1100度！”
“正在拉升！”
“800！”
“900！”
“1000！”
“炉内温度已到达目标温度！”
在炉内温度到达1100度时，韩铭看着设备各项数值均正常，不由得暗自松了口气。
设备没有问题。