第2章 关键专利(1/3)
   ☨🁼 湾湾🁑🅁不是中国大陆,它没有受到欧美的技术封锁,台积电的芯片🆙制造设备和英特尔的芯片制造设备没有什么代差。
    之所以工艺制程差了整整一代,是因为最新的铜互联工艺还没有取得突破,当然还有其它方面的原因,整个芯片制程有上千道工序,各个芯片厂家都有自己的拿手技术,这一点,英特尔公司肯定要比新生的🔀♊台积电强上不止🙐🉥一筹。
 &nb🐠🁌sp &n🌍bsp在铜互联工艺以前,大家都是铝互联工艺,可是铝互联工艺到了05微米制程时,就基本达到了技术瓶颈,再也无法突破。
  🗗  🜴🆓🏉这事要说清楚很复杂,总之是铝材料本身的性质决定了铝线带宽以及时钟频率。
    大家都知道铝的电阻是28μΩ,而铜的电阻是17μΩ,💿🗨🞈这就使得铜导线可以做得更薄更窄,相应的就提高了单位面积内晶体管的容量。
    这就是05微米制程工艺🄯🁇🃯向05微米制程工艺跨进的一个技💿🗨🞈💿🗨🞈术背景。
    铜互联工艺是ib公司发明的,但是他🌘⚼🖱们现在也🜚只做到实验💿🗨🞈室验证的水平,并没有真正实用。
   &🄠⚧nbsp正因为如此,ib公司在94年就大肆向其他晶圆企业兜售他们这种并不成熟的铜互联技术。
    其中也向台积电兜售了,但是当🐡🁝时台积电可能是资金短缺的原因,没有出钱买,倒是同为晶圆代工企业的台联电出资购买了。
    九十🁑🅁年代的台积电因为技🄯🁇🃯术🏿☑实力不够雄厚,倒致制程工艺比英特尔低了一个级别。
    这使🁑🅁得他们只能代工一些低端工艺的芯片,利润非常微薄,总之,这个时候的台积电还在苦苦挣扎,还没有一飞冲天。
  &nb🖩🕕sp&nbs🖿p铜互联技术,原理很简单,看起来好像就是把铝换♹🍘成铜这样简单,其实不是那么容易。
    其中最大的问题就是铜不与晶体管相粘,就是这个简单的问题难住了所有的晶🆧👿🎫圆企业🌣🀷。
    要知道芯片内🙢🌃部是非常非常的精密,在我们人眼看不到的内部,如果用一千倍的电子显微镜观看,里面的晶体管与金属电路,是纵⛙横交错,密密麻麻。
&n🚟🔩bsp &nbs🐗p 特别是金属电路,不是一层那么简单,而是多达两三层。
 &nbs😷🅾p  在这么精密的狭窄空间内,🏿☑要想解决这个铜线与晶体管不粘连的问题,确实非常困难🌣🀷。
    在没有前👝人经验的基础上🄯🁇🃯,科学家们只能通过广撒网的🅐🅫方式,一一实验各种粘接材料。
    刘美娟是穿越者,也是集成电路方面的行内人,她当然知之甚详,台积电公司也会在99的时候,解决这个问题。
    其实很简单,就是要先镀上一层薄薄的籽晶材料,也就是单晶铜,单晶铜与si🅹o2有良好的附着性。
    当然,事情不是这么简单,这还涉及到介电层与阻挡层之间的技术问题,既要保证铜线的粘接力,又要防止铜离子向晶体管内扩💫🔵🄻散,影响晶体管的半导体性能。
 &nbs😷🅾p  这种技术要到97年8月,ib公司才会获得突破,刘美娟就在想,要不要提前把铜互联工艺的关键告诉台积电。
    按理来说把人家三年后会突破的技术告诉他们,这也没什么,这样一来,就解决了海豚科技这款1000万晶体管级别📰芯片的制造⛙工艺问题,可以迅速的投产,对双方都是有利的事情。
    可🌄☋♠刘美娟就是过不🚵了她🁘心里这一关,她凭什么无偿帮助台积电呢?
    之所以工艺制程差了整整一代,是因为最新的铜互联工艺还没有取得突破,当然还有其它方面的原因,整个芯片制程有上千道工序,各个芯片厂家都有自己的拿手技术,这一点,英特尔公司肯定要比新生的🔀♊台积电强上不止🙐🉥一筹。
 &nb🐠🁌sp &n🌍bsp在铜互联工艺以前,大家都是铝互联工艺,可是铝互联工艺到了05微米制程时,就基本达到了技术瓶颈,再也无法突破。
  🗗  🜴🆓🏉这事要说清楚很复杂,总之是铝材料本身的性质决定了铝线带宽以及时钟频率。
    大家都知道铝的电阻是28μΩ,而铜的电阻是17μΩ,💿🗨🞈这就使得铜导线可以做得更薄更窄,相应的就提高了单位面积内晶体管的容量。
    这就是05微米制程工艺🄯🁇🃯向05微米制程工艺跨进的一个技💿🗨🞈💿🗨🞈术背景。
    铜互联工艺是ib公司发明的,但是他🌘⚼🖱们现在也🜚只做到实验💿🗨🞈室验证的水平,并没有真正实用。
   &🄠⚧nbsp正因为如此,ib公司在94年就大肆向其他晶圆企业兜售他们这种并不成熟的铜互联技术。
    其中也向台积电兜售了,但是当🐡🁝时台积电可能是资金短缺的原因,没有出钱买,倒是同为晶圆代工企业的台联电出资购买了。
    九十🁑🅁年代的台积电因为技🄯🁇🃯术🏿☑实力不够雄厚,倒致制程工艺比英特尔低了一个级别。
    这使🁑🅁得他们只能代工一些低端工艺的芯片,利润非常微薄,总之,这个时候的台积电还在苦苦挣扎,还没有一飞冲天。
  &nb🖩🕕sp&nbs🖿p铜互联技术,原理很简单,看起来好像就是把铝换♹🍘成铜这样简单,其实不是那么容易。
    其中最大的问题就是铜不与晶体管相粘,就是这个简单的问题难住了所有的晶🆧👿🎫圆企业🌣🀷。
    要知道芯片内🙢🌃部是非常非常的精密,在我们人眼看不到的内部,如果用一千倍的电子显微镜观看,里面的晶体管与金属电路,是纵⛙横交错,密密麻麻。
&n🚟🔩bsp &nbs🐗p 特别是金属电路,不是一层那么简单,而是多达两三层。
 &nbs😷🅾p  在这么精密的狭窄空间内,🏿☑要想解决这个铜线与晶体管不粘连的问题,确实非常困难🌣🀷。
    在没有前👝人经验的基础上🄯🁇🃯,科学家们只能通过广撒网的🅐🅫方式,一一实验各种粘接材料。
    刘美娟是穿越者,也是集成电路方面的行内人,她当然知之甚详,台积电公司也会在99的时候,解决这个问题。
    其实很简单,就是要先镀上一层薄薄的籽晶材料,也就是单晶铜,单晶铜与si🅹o2有良好的附着性。
    当然,事情不是这么简单,这还涉及到介电层与阻挡层之间的技术问题,既要保证铜线的粘接力,又要防止铜离子向晶体管内扩💫🔵🄻散,影响晶体管的半导体性能。
 &nbs😷🅾p  这种技术要到97年8月,ib公司才会获得突破,刘美娟就在想,要不要提前把铜互联工艺的关键告诉台积电。
    按理来说把人家三年后会突破的技术告诉他们,这也没什么,这样一来,就解决了海豚科技这款1000万晶体管级别📰芯片的制造⛙工艺问题,可以迅速的投产,对双方都是有利的事情。
    可🌄☋♠刘美娟就是过不🚵了她🁘心里这一关,她凭什么无偿帮助台积电呢?