26章 : 五步光刻法(1/4)
1992年3月
新华社全文播发“为改革开放保驾护航”
———————
全彩会议室
今天开会来的人🞮特🙍别⛀🗒全，因为公司到了一个新的节点。
在会议桌中央，🞮摆放着几块104寸的tft-lcd样品。这几块样品，是用产线设备🖪🕜跑出来的。lcd生产线，终于彻底跑通了一次。
当然了，这🚚📽个跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题，良率🅪问题。但剩下的事情相对就好办了，大家慢慢磨时间吧。
样品给骆师姐送去了吗？”
送去了，她们的电路板已经准备得差不多了，估计过两天，成品就会送🎥回来。”
会议室的🜆⛠众人，都对第一块🃠🙋🈳可以显示图案的lcd成品，期盼着。
———————
会议的重点，永远都是良率问题。
odf工序，被引入以后，按理说tft-lcd的良率，不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。🆘🏹
光电虽然没有晶圆的生产经验，但led的生产经验不算少了。但实际情🅪况，并非如此，lcd的尺寸，实在是太大了。
小成，你那边的五次光🏽🟦刻技术，是否成熟了？”
王青山是产线调试的技术负责人，从现在开始，产🆉🍯率，良率的问题，主要就是他的事🗔🛓情了。
怎么了？”
产👹品的良率不足，也跟现在tft🙣的加工工序次数🆉🍯过多有关系。”
tft的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影🄵🁹，烘干，蚀刻，去光阻胶，🜺🗃检查，都要走一遍。🜁
目前的tft加工工⛀🗒艺，采用的是七次光刻的🜆⛤工艺。也就是基板需要通过七次光💡📗刻，才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中，几十次的光刻，是最少🁨🈕的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多，总成品率🙳🎠💡就越低。
小成，如果你有好的技术，就赶紧拿出来吧🍆🅹。”
白学成也在一边加入了战团，进行劝说。
新华社全文播发“为改革开放保驾护航”
———————
全彩会议室
今天开会来的人🞮特🙍别⛀🗒全，因为公司到了一个新的节点。
在会议桌中央，🞮摆放着几块104寸的tft-lcd样品。这几块样品，是用产线设备🖪🕜跑出来的。lcd生产线，终于彻底跑通了一次。
当然了，这🚚📽个跑通，不等于马上就能投产。因为还有产品质量问题，良率🅪问题。但剩下的事情相对就好办了，大家慢慢磨时间吧。
样品给骆师姐送去了吗？”
送去了，她们的电路板已经准备得差不多了，估计过两天，成品就会送🎥回来。”
会议室的🜆⛠众人，都对第一块🃠🙋🈳可以显示图案的lcd成品，期盼着。
———————
会议的重点，永远都是良率问题。
odf工序，被引入以后，按理说tft-lcd的良率，不应该有什么问题了。剩下的都是很普通的半导体加工工序。🆘🏹
光电虽然没有晶圆的生产经验，但led的生产经验不算少了。但实际情🅪况，并非如此，lcd的尺寸，实在是太大了。
小成，你那边的五次光🏽🟦刻技术，是否成熟了？”
王青山是产线调试的技术负责人，从现在开始，产🆉🍯率，良率的问题，主要就是他的事🗔🛓情了。
怎么了？”
产👹品的良率不足，也跟现在tft🙣的加工工序次数🆉🍯过多有关系。”
tft的加工工艺，与晶圆没有原理上的本质区别。每一次光刻，成膜，清洗，涂光阻胶，曝光，显影🄵🁹，烘干，蚀刻，去光阻胶，🜺🗃检查，都要走一遍。🜁
目前的tft加工工⛀🗒艺，采用的是七次光刻的🜆⛤工艺。也就是基板需要通过七次光💡📗刻，才能完成加工。
而在晶圆芯片的加工过程中，几十次的光刻，是最少🁨🈕的了。这也是为什么晶圆厂的成品率很难提高的缘故。步骤越多，总成品率🙳🎠💡就越低。
小成，如果你有好的技术，就赶紧拿出来吧🍆🅹。”
白学成也在一边加入了战团，进行劝说。